維修Brooks布魯克斯晶圓拾取機(jī)器人razor

 

       收到客戶寄過來的一套Brooks布魯克斯晶圓拾取機(jī)器人razor,客戶反映的問題先是不能歸零,掉片,后來開不了機(jī)。我們馬上安排故障排查,我們檢查了控制柜978-262-2900、示教器001-1984、電路板S13A-00832和S12H-2187、電池90010-066-G、本體風(fēng)扇SANYO DENKI San Ace92 9GA0924P4G03、編碼器TT1ENR2-1-TVS-ES、002-0016-34,最終確定了故障是硬盤出了問題,導(dǎo)致系統(tǒng)崩了。

 

維修Brooks布魯克斯晶圓拾取機(jī)器人razor

 

維修Brooks布魯克斯晶圓拾取機(jī)器人razor

 

維修Brooks布魯克斯晶圓拾取機(jī)器人razor

 

維修Brooks布魯克斯晶圓拾取機(jī)器人razor

 

       Brooks Razor晶圓拾取機(jī)器人提供了半導(dǎo)體制造所需的卓越性能、可靠性和超高清潔度。Razor機(jī)器人實現(xiàn)了快速設(shè)置、高重復(fù)性和穩(wěn)定性。此外,Razor的機(jī)器人手臂結(jié)構(gòu)簡化且高效,采用兩連桿而非傳統(tǒng)的三連桿,適用于無軌道的3-FOUP機(jī)器人。

Brooks Razor晶圓拾取機(jī)器人特點:

① 第五代直驅(qū)技術(shù);

② 支持多種晶圓處理技術(shù),包括高通量被動邊緣接觸技術(shù);

③ 與Equipe和Reliance機(jī)器人的兼容性;

④ 用于自定義運(yùn)動和輸入/輸出序列的拖放序列編輯器;

⑤ 可選的 kinematic 安裝系統(tǒng),具有一次性的高度和水平調(diào)整。

 

維修Brooks布魯克斯晶圓拾取機(jī)器人razor

 

長科智能還維修過如下型號的Brooks Razor晶圓拾取機(jī)器人:

MTR 5/VTR 5

MagnaTran 7 SCARA

MagnaTran 7 Frogleg

MagnaTran 7 BiSymmetrik

MagnaTran 7 Leapfrog

MagnaTran 7 Leapfrog(MAG 7 X) 

MagnaTran 8 Radius

MagnaTran 8 QuadraFly

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